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镀膜颗粒分析
显微镜-最小可以分析大约0.35m的颗粒
对单颗粒化学组成进行分析可使用场发射扫描电子显微镜和环境扫描电子显
微镜配带的薄窗x射线能谱仪。传统的能量散射x射线检测器不能用来进行小原
子序数元素的测定,主要是因为它们使用了Be窗以保护半导体检测器,并因此
而妨碍了小原子序数元素的探测。而薄窗和无窗x射线探测器,可以半定量单个
颗粒中包括小原子序数元素在内化学成分,特别是N元素的定性和半定量分析,
这为分析大气颗粒物中的硝酸盐提供了方便。进行成分分析的一个最大困难是对
干亚微米颗粒成分的获取。根据Monte Carlo模拟结果,电子束的影响范围为大于
1μm 直径的球体,所以当颗粒非常小时,x射线的信号大部分来自于滤膜基底。
由于亚微米粒子本身成分的信号就非常弱,如果再受滤膜基底和镀膜的双重影响,
就难以获得有效的成分数据。对于滤膜基底,目前很难控制,必须在镀膜上下功
夫,保证既能够看见颗粒,又要尽量避免镀膜对颗粒成分的影响。这就需要在镀
膜时间上进行严格控制,通过多次摸索,我们确定镀Au/Pd膜的时间为2min,
这样最小可以分析大约0.35m的颗粒的成分。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科