标题：双目显微镜或螺旋目镜测微计测量-工具显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-8-9 9:26:14
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正文:
用具有标度尺的双目显微镜或螺旋目镜测微计测量径迹蚀孔
的长度和直径，所能达到的测量精度不高，一般只能测准至1-2
μm左右.特别是在CR-39探测器问世以后，由于其性能优良，
常规测量方法对测量精度的限制就显得更为突出.利用激光干涉
仪，可以较大幅度地提高测量的精度。
这种测量方法的基本原理是，在显微钝的x轴和二轴上各装
置一套激光干涉仪，利用多普勒效应，分别测定样品与固定在显微
链台上的一块直角反射镜之间的相对运动速度，以及显微镜台与
安放目镜的悬臂之间的相对运动速度.再通过计算机对测得的速
度进行积分，求出两对物体之间的距离.这种方法对x轴和z轴
位置测定的标准偏差分别可达0.19及0.5μm.
由于利用多普勒效应测定运动速度时，所比较的是出射的与
返回的激光信号的频率，而不是它们的振幅，因此对激光的强度没
有特殊的要求，而且也不受光路上尘埃等污染的影响.
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科