标题：计量光学仪器-使用三坐标测量仪测量表面高度
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-7-18 22:43:56
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正文:
波纹度是中等空间频率范困内的相关参数.所以.测傲表面精度的计量装置
要求具有较高的空间分辨率以确定波纹度以及需要大的测量范围以测量粗糙度。
一般地.当今的计量设备是沿着两条相反的需求路线发展:成像计量系统设计有
高分辨率相机和扫描计量系统需要更为复杂的长度规(分划尺)。比较和检验计
量仪器的一种良好方法是所谓的A- W图表，有时称为斯特德曼(Stedman)
图，该图表绘制出表面波长对数与表面高度对数的曲线，该图所涵盖的面
积表述一台计量仪器的可利用范围。
计量设备的另一种分类方法是依据数据采集方式:以连续模式采集测量点的
扫描系统和以并行方式采集数据点的成像系统。对扫描类表面计量系统，待渊样
品相对于探针做机械运动以测量表面高度，上述三坐标测量仪就是这类表面计员
应用的理想例子。注意到.利用先进的三坐标测量仪也可以非常好地探测光学表
而.尤其是较大表面.使用三坐标测量仪是一个好主意。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科