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像差补偿技术一个非常重要的方面就是在调整期间提供实时
测量像差的
方法。给出了一般的测试设备,包括一个装配有多个透镜的镜筒,其中三块
透镜作为像差补偿器。这些透镜放置在标有“检查孔”的轴向位置处,由两
个测微计驭动的正交推杆穿过这些孔,使可移动的透镜/镜座相对于其它透
镜做横向移动。在测微计运动平面内对称设置第三个孔,安装一个弹簧形成
恢复力。这种设计使测微计基本上是以一种简单的“推,拉”模式运作。需
要注愈的是,在其它一些对准装置中,是使用压电致动器提供调整运动。
镜筒夹持在一个V形块上,依次又安装在一台干涉仪中(未画出),通常是使
用相位干涉测址技术。可以使用干涉仪评估每块透镜移动对整个性能的影响
。正如前面所述,通过连续的近似调整可以实现最佳性能。如果达到了系统
的最佳性能,就用某种内部机构(未画出)将可移动透镜锁定到位以保持对准
,然后将检查孔密封,使湿气和脏物不会进人。
为了使某些高性能物镜组件,包括表示的组件性能得到进一步优化,除
了对其它的补偿器进行横向调整外,对一个或几个透镜/镜座部件沿轴向做
些小量移动也是必要的。在此,采用将带螺纹的镜座旋进镜筒螺纹中的方法
(类似于某些物镜或目镜的调焦)实现物镜的轴向移动是不实际的,因为即使
设计成差动螺纹.螺纹的牙也太粗,不可能与机械轴同心。此外,由于光学
和机械零件中残留的楔形缺陷,可能会影响到光学零件的同轴度,以及使像
差变大。所以,在进行轴向调整时,镜筒一定不能绕着它们的轴转动。
出自http://www.bjsgyq.com/
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