标题：显微镜成像原理应用于测量小零件测轮廓尺寸
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-6-9 0:31:07
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正文:
(1)激光衍射测量利用激光照射狭缝时产生的夫朗和费衍射条纹的原理。
这种方法需要的测量仪器复杂，特别是对于这种特殊环境,要求激光束的直径很
小(至少要和微操作器的尖端直径在同一数量级内)才可获得准确的测量结果。
(2)利用显微镜成像原理对于一台确定的显微镜，其成像的距离PQ与显微镜物镜
的放大倍数和物镜的数值孔径等固有参数成确定的函数关系。
但是对于一确定放大倍数和数值孔径的物镜，其成像范围并不是一条弧线，
而是一个范围(带状区域)。在这个区域中成像的清晰度可近似用高斯分布曲线表示，
利用计算机可对数字图像进行处理，寻找出最清晰点Q的距离值，用这种方法
获取Z方向的信息，不仅可以对微操作器进行测量，还能对操作对象的Z方向信息
进行测取，它的缺点是计算的误差比较大，如何对误差进行补偿是一个面临的问题。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科