标题：试样的制备干涉显微镜采用与轮廓测量仪相同
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-4-29 21:48:49
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正文:
轮廓仪法
轮廓仪测厚法又称触计法。它是采用镀前屏蔽或镀后溶解的方式。使基
体的某一邻位不存在镀层，于基体和镀层之间形成一个台阶。
靠轮廓记录仪探针的运动，测量台阶的高度（即镀层厚度）。
这种方法可用来测量较宽范围的镀层厚度。可测量平面
上从0.01到10005m的镀层。误差在±10% 以内；
轮廓记录仪有几种类型：电子记录针式仪器，即表面分析仪和表面轮廓
记录仪，通常用于测量表面粗糙度，也可用于记录台阶的轮廓，具有记录针
收电子感应比较仪，结构比较简单，也可记录台阶的轮廓。
这两种仪器通常测量镀层厚度的范围是：电子记录针仪器为0.005^250
μm ，电子感应比较仪为1~1000μm
干涉显微镜法采用与轮廓仪法相同的试样处理方式，即造成基体与镀
层之间的台阶，利用多光束干涉测量仪对该台阶进行测量。
干涉测量仪有一个贴于试样作平面塞准板的透镜。当一束单色光在试样
上和上述透镜之间来回反射时，就可通过一个低倍显微镜来观察干涉条纹图
象。若将丛准板相对于待测试样表面稍，0 倾斜，
就会形成一系列平行的干涉条纹线。试样表面的台阶会使干涉条纹偏移。
一个条纹间距偏移相当于单色光半个波长的垂直位移，干涉条纹所移动
的间距和形状可用带刻度线的目镜测微计来观察和测定。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科