标题：电路芯片测量用读数显微镜-元件尺寸测量仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-3-29 21:18:57
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正文:
实验内容与步骤
1.实验内容和步骤
(”打开管壳前对集成电路进行参数检测。
利用集成电路参数测试仪等一起测试待解剖试验样品的主要性能。
(2)打开管壳取出集成电路芯片。
(3)利用照相显微镜为集成电路芯片照相。
(4)利用集成电路芯片的全图照片识别集成元器件和布线。
(5)根据集成电路芯片照片由版图演绎出线路图或者逻辑图。
(6)利用读数显微镜测量版面尺寸参数。
(7)利用探针台直接测试各个元器件的参数。
2.数据处理和分析
(1)画出集成电路芯片对应的电路图或者逻辑图。
(2)分析版图，写出分析结果。
(3)分析试验样品的制备工艺过程和各项参数
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科