标题：集成电路实验样品芯片分析图像显微镜-剖析实验
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-3-3 20:38:54
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正文:
集成电路实验样品芯片分析图像显微镜-剖析实验
芯片剖析实验是解剖分析一个集成电路实验样品，按照一定的解
剖分析顺序，对已有的集成电路样品进行观察分析。一般剖析过程包
括以下几个方面：（1 ）开壳前的检查；（2 ）打开封装的管壳；
（3 ）利用显微镜观察芯片；（4 ）通过芯片照片和显微镜观察，识
别集成电路中的元器件，提取出线路图和逻辑图；（5 ）利用测量显
微镜测量芯片尺寸；（6 ）测量集成电路中各个元器件的参数；（？）
测量芯片纵向结构；（8 ）分析芯片结构；（9 ）写出芯片的剖
析报告。
打开封装的管壳时不能损伤芯片，一般利用机械和化学两种方法
开壳。金属封装的管壳一般先挫去管帽边沿，然后再打开。
陶瓷等非金属材料封装的管壳一般先在沸腾的醋酸中浸泡5-10分
钟后，然后用刀撬开管壳。化学法可以用热硫酸溶去塑料封装外壳，
取出芯片。
芯片取出后，首先在照相显微镜下拍摄一张清楚的芯片显微相。
照片要具有较大反差可以使用彩色照片以便进行观察分析。
条件许可的情况下可以使用视频采集系统，采集到的图片可以在
电脑中利用图形分析软件进行分析。版面分析是利用芯片的总图照片
进行分析，识别出集成电路的元器件以及布局布线，然后得出电路图
和逻辑图；同时测量版面各元器件尺寸参数，掌握版图设计的思想以
及制版、光刻等工艺技术。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科