标题：利用金相显微镜测试结构乃利用简单的面型加工牺牲层法
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-9-25 17:23:09
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正文:
测试结构乃利用简单的面型加工牺牲层法制作，可同时与元件成形在同一基板
上，监测薄厚膜 材料之性质，而且仅占基板空间上非常小的区域。主要是构思
出整个量测模组之架构及操作 方式，针对加热器及试片治具进行设计、分析与
制作，完成整个量测模组的组合安装，之后设计及 制作测试结构，并进而进行
薄厚膜材料性质之实验量测
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科