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正文:
高分辨率CCD应用于太阳能芯片检测-
金相显微镜门市
太阳能芯片电极涂布误差来源分析
太阳能电池制程中电极涂布由原有的单次涂布改良为两次涂布,其主
要目的是为了使电极线宽变细但整体截面积必须保持和单次涂布时相同
甚至更多,如此可有效的增加太阳能电池的光电转换效率。但由于电极进
行两次涂布间某些因素造成两次电极轮廓发生错位,因此可能降低电池本
身的光电转换效率,
芯片边界与电极涂布区域对位误差
单次电极涂布误差来源
太阳能芯片原有的单次电极涂布制程因为印刷电极宽度较宽,印刷范
围可较大,所以容许有较大的误差产生。传统一次涂布电极边界相对于晶
片边界之误差量较大,但不影响芯片本身的光电转换效率。而涂布时造成
电极位置有偏差的原因有:芯片与电极本身各有对位误差的情形发生、对
位 CCD 分辨率所造成的误差、涂布机台于数次网印后累积的误差、网版
及胶料品质所造成的网印误差等等因素
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出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科