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正文:
半导体制程人员(Semiconductor processors)就是自不同尺寸的磁盘上制造半导体的生产劳工。
磁盘的直径通常是8吋到12吋,而这些被称为晶圆
(wafers)的磁盘是薄薄的硅片,其上铺设着一层一
层的芯片电路。每一片晶圆到最后会被切割成12颗或者是20颗的单独芯片(chips)。
半导体制程人员(Semiconductor processors)使用照相平板印刷法(photo lithography)来制造晶圆,
这个方法就是从摄影的影相来产生图样的一种印刷过程。
操作自动化的设备,以把显微的电路图样精确地印刷在晶圆上;利用酸类蚀刻出电路图样,
圆用化学药品洗涤一次以变得光滑,接着从新开始另一个印刷程序将下一个电路图样印刷在新的一层上
突破解像力的限制,成为当时极欲克服的问题。 1943年,穆勒发现了“场离附”(field desorption)的现象,
即表面若存在相当高的正电场时,则表面电场力克服了表面附着原子(surface adsorbed atom)的束缚力,
附着原子即可脱离表面而以离子形式曳出。此现象立即指引出一条最佳途径,
即采用离子取代电子作为场显微术之投射粒子。因离子质量远大于电子质量,故曳出离子的切线速度分量将很小,
又此微小速度分量主要来自热能的效应,若再降低表面温度,即可大大地减少此种速度分量,
而满足提高解像力之必要条件
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科