标题：大平台芯片检测显微镜-晶圆测试小常识
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-6-6 21:41:28
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正文:
大平台芯片检测显微镜-晶圆测试小常识
晶圆测试的机台接地电流量到3安培，影响到机台测试的功能，
把机台的电源关掉也把电源线((1φ208)拆除了在机台端量还是量到3安培的接地电流，
我在想是不是因为感应电电压所产生的电流。
接至设备是用3C的电缆线，所以接地线没有和电力线分开拉设。
不知道有没有人有遇过相同的问题，是怎么解决的。
在晶圆测试的机台接地电流量到3安培，影响到机台测试的功能
正常晶圆测试的机台电源采用3相4线式,需注意N相和G不可混接或错接,如果一机一组电源还好,
一般都是一组电源接几台机器,3相不平衡时N相会电流异常,又因混接而产生,如果有电热器要住意其绝缘电阻
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科