标题：机械制造加工材质显微结构检测显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-4-22 0:26:16
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正文:
机械加工材质显微结构检测显微镜
在光学元件的研究上，许多新式制造微透镜与绕射阵列元件的方法，已陆续被发展出来，
如化学能：热熔法(reflow)、热压法(hot embossing)、微液滴法(micro droplet)、灰阶光罩法(gray-level mask)、
LIGA制造法(Lithographie Galvanoformung Abformung)以及紫外光成型胶法(UV curing glue)等；
光热能：雷射加工(laser beam)、离子束(Ion beam)与準分子雷射加工(excimer laser)等；以及机械能：
超精密车削、铣削、刮削、研磨等。不同能量之制造，其移除材料速率会有不同，
其中，以机械能加工材料选择性较高，且加工精度也相对高，配合单晶钻石刀具的使用，
藉由其高複写性(duplication)，将光平的刀具刃边複制于元件或模具表面，可达高尺寸精度、高形状精度与极佳的表面粗糙度。
鑑此，对精微及超精微工具机的开发皆相当重视
纷纷设计出多功能的工具机，主要应用于开发制造超精密、複杂且微小的模仁、元件或零件
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科