标题：制备大小2 cm × 2 cm且表面抛光完毕金相试片
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-30 15:18:24
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正文:
制备大小2 cm × 2 cm且表面抛光完毕金相试片
温度 400-480℃时介金属中主要扩散元素
在第一部分实验主要是固态镁和固态镍在 400-480℃进行界面反应，为
了进一步瞭解在界面介金属中主要扩散元素的判断，我们在 Mg-Ni 固态扩
散偶的界面处标定 markers，再进行热处理后，藉由 markers 存在于介金属
中的位置来判断介金属中的主要扩散元素，实验步骤如下：
(1)同第一部分实验的步骤制备大小 2 cm × 2 cm 且表面抛光完毕的 Ni 片
(99.5%)，为了在 Ni 片上标定 markers，我们在国家奈米元件实验室(NDL)
订做光罩，上面有 2μm，5μm，10μm 和 15μm 宽的直线条图案各 100 条。
之后在 Ni 片上涂佈约 5μm 厚的光阻，经过曝光显影的制程后，再利用
直流式真空溅镀系统(DC sputter System)镀上钨(W)当作 markers。利用超
音波震盪器将多馀的钨震落后，再用丙酮将光阻洗淨，随后将标定
markers 的 Ni 片裁切成 10mm × 6mm。
(2)同第一部分实验的步骤制备大小 10mm × 6mm 且表面抛光完毕的 Mg 片
(99.95%)，并采用第一部份实验的方式，将标定过的 Ni 片和 Mg 片置入
夹具中做成 Mg-Ni 固态扩散偶。
(3)将 Mg-Ni 固态扩散偶置入通有氩气的气氛爐中进行热处理，热处理温度
为 400℃和 480℃，时间为 10、20、30 和 45 小时。
(4)反应完成的试片将如同前一部份实验进行镶埋、研磨、抛光及金相观察
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科