标题：声学显微镜解像力很适合物体表面或近表面的观察
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-24 22:23:21
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正文:
声学显微镜解像力和专业级光学显微镜差不多
三类声学显微镜比较
三种声学显微镜的成像技术有相当的差异，其优劣点则各有千秋。
对于薄的受测物，通常采用第一类与第二类显微镜。第一类显微镜的声学透镜聚焦声波，其操作频率很高，
解像力也可达波长的0.5倍，因此其解像力目前已和最好的光学显微镜差不多，
目前的操作频率欲达到1.5GHz已经没有什么困难了。
第二类利用雷射扫描来成像，一般操作频率在100～500MHz之间，其解像力在同频率下要比第一类显微镜差3～4倍。
可是第二类显微镜较容易固定受测物，且可当纯粹的光学显微镜用。它还有一个优点，就是较易穿透较厚的试样，
在材料检测上更适用。藉改变入射声波的角度，材料中不同深度的影像可被显示出来。第一类显微镜做反射式操作，
即仅用一换能器与凹面镜当作声波发射器与接收器，很适合物体表面或近表面的观测用，尤其是在微电子元件的品质控制应用上特别适合。
第三类的显微镜利用光或电子束激发声波，它所显示的是材料表面的热弹性特性，因此可弥补前两类显微镜功能的不足。
不断地在努力以改良这些显微镜的性能，最主要的是改良解像力。
如第一类扫描声学显微镜之解像力，乃受限于高频率声波在液体耦合介质中的衰减，如果能找到一种液体具有低的声波吸收系数及慢的声波波速，
则解像力可予改良。低温液体，如液态氦就具有这个优点，史丹福大学的奎特教授目前正在发展这种低温的声学显微镜。
在雷射扫描显微镜中，解像力其实仍受限于声波波长，由于振动镜片上覆盖的塑胶膜及解调器的反应，往往使所获得的影像变形，
此类显微镜目前尚未达到其解像力极限。这种非线性的变形，使我们熟知的线性傅氏转换（Fourier transformation）无法使用，
须藉更进步的电子影像处理技术，方能达到其解像力之极限。上述第二类显微镜已有商品问市，而第一类与第三类声学显微镜则有待研究改进。
然而，它们在材料研究和品质控制上将会成为有用的工具，则是毋庸置疑的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科