标题：携式数码表面轮廓量测工具显微镜-微细元件精密测量
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-13 15:08:43
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正文:
微量测探头之可携式数码三维显微量测系统，它除可进行一般三维表面轮廓达
0.1 微米(100nm)垂直解析度之微细元件精密检测，
亦可进行量测大型样本(或具狭窄空间)微细部位之精密表面轮廓量
测。以应用 DMD 投射出结构光条纹，
经準直镜组、影像缩放镜组、聚焦物镜、
同调影像光纤束(coherent image fiberbundles)及影像放大镜组等光学系统设计与整合，
将结构光条纹以俯视角度投射到待测元件之表面轮廓上，再藉由高解
析之 CCD 相机将影像撷取至电脑中，进行影像之前处理(Image conditioning and
processing)，三维数据运算处理(彩色多波长相位移法)及三维影像叠合与重建
等重要过程，以获得精密之三维量测数据与实体轮廓之三角网格(STL)等资料。
可携式三维显微量测系统之量测原理，以多波长相位移法而言乃依投影到
待测微细元件表面之结构光，
因光程差所形成之变形相位分佈来计算获得，藉DMD 投射之精确条纹，量测系统可依需
求任意产生不同组合週期(或型态)与颜色之结构光图谱，配合多週期之相位移
量测原理，使传统面结构光相位移三维量测所遭遇之量测不準确问题，获得有
效解决。
本研究创新在于微量测探头为可携式，并成功以微数码镜式显示器(DMD)
作为量测系统之核心关键。本专题拟发展之三维量测系统，首先着重于可携式
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科