标题：使用高倍率显微镜来观察光阻的图案-金相仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-5 22:48:43
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正文:
观察光阻图案
使用高倍率显微镜来观察光阻的图案是否是我们所需要的图案
并确定图案上的线宽是否正确，做一个完整的确认，以便成形﹔使
用显微镜观察时，需使用紫外线滤镜以过滤显微镜光源的紫外光
防止光阻再度曝光。
硬烤
将定影完成后的石英基板放置烤箱高温硬烤，其目的在于将光
阻内所残留的溶剂，藉由此步骤使其蒸发，则光阻未硬化的部分硬
化成形，如此一来，光阻才较能够抵挡住下一步的活性离子蚀刻。
光阻厚度和平整度
可以利用表面轮廓测厚仪来量测光阻的厚度和平整度，若光阻
的平整度越高，在进行蚀刻时，元件轮廓表面品质才会良好；另外，
我们在计算蚀刻的光阻和石英基板的蚀刻选择比，也才会较準确。
在此，此条件对于我们在制作绕射式元件上占了一个重要的角色
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科