标题：光学显微镜用来做微透镜加工表面细微结构的观察
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-2-17 16:43:49
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正文:
光学显微镜用来做微透镜加工表面细微结构
加工深度检测
光学显微仪之量测
光学显微镜用来做微透镜加工表面细微结构的观察，放大倍率
可以到达数百倍至数千倍，所量到的图形等同于透镜的俯视图，对
于透镜表面的粗糙度以及整体结构一目了然，并且可对制程作最初
步的检验，如下列所示各图皆为各元件之显微镜放大图。
（二）薄膜测厚仪（α-stepper ）
薄膜测厚仪是利用细小的探针与待测面接触，利用驱动器使探
针滑过表面将其上之高高低低的位移，透过线性位移转换器变成电
讯送至电脑以计算各种数值，故可用来做微光学元件之加工深度的
测量，所量到的图形等同于元件之剖面图，并而瞭解到加工参数与
蚀刻深度的关系，而且对于工件的壁垂直度以及深宽比的关系获得
确切的掌握。唯一美中不足的是，薄膜测厚仪是以探针和微光学元
件表面互相接触，难免会有刮伤。而探针的针尖直径约为 1~2μm，
如果待测物的线宽太细，则会造成失真。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科