标题：光学自准直仪简介_自准直仪器产品列表
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2012-11-30 15:23:23
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正文:
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光学自准直仪所量测的值可以是角度，需要量测直线度或平面度的话，需要将角度值乘上
每次反射镜的移动位移量，求出各点的高度差之后，再用最小平方法将各点在基准线的高
度值求出来。最后亦可用类似方式记计算出待测物之平面度。
角度量测：
角度量测可以不像长度量测一样需要一个量测基准，我们可以将一个直接定义为 360 度或
2π 弪度，再将这个圆分割成所需要的等分，例如将一度续分为 60 分，一分续分为60秒。
实际上的角度量测仍然必须利用长度比例来换算，例如：
１．一个 θ 角所对的弧长为 r θ， r 为此圆之半径，当 θ很小时，此对应之圆弧即趋近
于直线，角为弪度表示方式。
２．利用三角几何原理来求角度，例如正弦杆即是，一般正弦杆长度为100mm ，
且经过精密校正，则由以上可知，长度量测的精度，直接影响角度量测的精度。
人的眼睛一般角度分辨的极限能力是一分，如果在明视距离下，换算成长度
单位大约为：
块规的量测精度：1 μm
假设正弦杆非常精密，本身长度误差不考虑。
此为正弦杆量测精度的极限，实际上的测量误差必然比值还高。
常见的比正弦杆测量更精密的角度测量仪，首推自动对准仪。
光电式自动对准仪精度可达 0.1 sec 但其测量范围不大，必须配合其他角
度量测仪具一起进行角度量测。
光学上大都利用几何光学的方式进行轮廓测定其解析度限制大都为光学系
统本身之误差一个物体经过透镜成像后，可得到放大或缩小的影像但此影像
与原来的物体相比较。
光学自准直仪用于平台平面度之量测与校正:
首先量出平台上各点与基准点之间之高度差。
取点方式有二：
１．对角法
２．网目法
两个理想平行平面之倾斜角如果调整适当，则两平行距离减少时仍然能
够将待测面完全包夹住，因此适当的旋转两平行面，最后可以得到待测
平板之平面度之值。
调整水平的方法：
反覆调整、利用探针或水准气泡来告知那一边较高，旋转 180 度，再
调另一边，直到两边之高度相等为止再调第三点使整个面高度都相等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科