标题：电子元件表面粗糙度是影响元件性能的参数!检测金相设备
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2012-10-29 14:08:36
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正文:
光感检测系统近几年来蓬勃发展，不论是传统机械零件、微生物晶片、光学元件或是晶圆被覆薄膜等的表面性状(Surface Integrities)检验，
它都能做出快速準确的判断，使得量测稳定性及可靠性提高。
因光学检测系统为非接触式，可直接线上量测；不但省去传统受测件拆卸的繁琐步骤、维持受测件的原本样貌、
延长检测仪器的寿命，最重要的是其量测精度高。而这些表面参数对散射的影响，
仍需建立起一套量测机制来对它分析。本研究乃针对超密加工之模具模仁表面粗糙度，做光散射的效应研究
机械元件或某些电子元件之表面粗糙度是一个影响元件性能的参数，就如雷射活性介质之晶体、发光二极体量子井、太阳能板之薄膜层等，其表面粗糙度品质严重影响其光学、电学或机械性质。而对于一个理想的反射面(Specular Reflection)或所谓的光学平滑面而言，其表面的不平整尺寸是远小于所使用的光波长，当表面不平整尺寸逐渐接近、甚至超越光波长时，其散射效应必然逐增加
因为分析一个因表面粗糙度所导致之光散射效应是很複杂的，显然 BSDF 函数是非常普遍使用有方法可用来描述介质介面之光散射，可在一定的入射光方向角度与光功率下，在特定的散射方向量测单位立体角内所接收得光功率，此由介质介面所辐射出之光散射的角度分佈状况
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科