信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2012-5-24 0:05:10
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正文:
表面粗度是指表面的起伏程度。例如抛光痕迹(polishing marks)、加工痕迹(machining marks)、在记忆光碟片上的磁性材料颗粒、在silicon wafers上起伏的东西以及经过滚压后所留下的滚轮痕迹……等等。
在此先定义粗度参数:
R q:指Root-mean-square(rms)粗度 =[(1/N)ΣZ i]1/2
N:量测点序号, Z i:N点所对应的高度
P-V:指波峰与波谷间的距离
R p:指波峰与平均线间的距离
β*:相关长度
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