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原子力显微镜的分类，原子力显微镜原理？

‧接触式 (Contact AFM)
‧非接触式 (Non-Contact AFM)
‧间歇接触式 (Intermittent-Contact AFM)

接触式AFM
在接触式操作下，探针与样品问的作用力是原子间的排
斥力，这是最早被发展出來的操作模式，由于排斥力对
距離非常敏感，所以接触式AFM较容易得到原子解析
度。在一般的接触式量测中，探针与样品问的作用力
很小，约为10-6至10-10N（Newton），但由于接触面
积极小，因此过大的作用力仍会损坏样品表面，但较大
的的作用力通常可得到较佳的解析度。

‧在接触式操作下，探针与样品问的作用力是原子间的排斥力，这是最早被发展出來的操作模式，由于
排斥力对距離非常敏感，所以接触式AFM较容易得到原子解析度。在一般的接触式量测中，探针与样
品问的作用力很小，约为10-6至10-10N（Newton），但由于接触面积极小，因此过大的作用力仍会损坏样品表面，
但较大的的作用力通常可得到较佳的解析度。
‧选择适当的的作用力，接触式的操作模式是十分重要的。接触式的AFM利用探针和样品原子间的排斥
力（repulsive force），原子力间的排斥力对距離的变化是非常敏感。是利用具有悬臂的探针接触
且轻压表面，由于反作用力使得探针的悬臂产生偏折，而偏折量的大小代表反作用力的大小，所以扫
描表面时利用维持相同的偏折量就可以描绘出3D的表面结构　。

原子间作用力
有几种典型的力量会造成原子力显微镜悬
臂的歪斜，最普遍的是凡得瓦力（van derWaals force），其它还有如electrostatic,
magnetic force, thermal gradients, and
optical intensity, ….

原子间凡得瓦力和距离关係

恆定－高度或恆定－力量

接触式原子力显微镜

‧接触式AFM是一个排斥性的模式，探针尖端和样品之间做柔软性的「实际接触」，
当探针尖端轻轻的扫过样品表面时，接触的力量引起悬臂弯曲，进而得到样品的表
面图形。

‧由于是接触式扫瞄，在扫瞄样品时可能会使样品表面变形。
‧经过多次扫描后，探针或者样品有钝化的现象。

非接触式原子力显微镜
‧需要使用较坚硬的悬臂（以防与样品接触）
‧所得到的信号很小，需要更靈敏的装置
‧由于为非接触狀态，
‧对于研究柔软或有弹性样品较佳
‧探针不会有钝化的效应
‧误判的现象

间歇接触式原子力显微镜
‧類似非接触式AFM
‧比非接触式更靠近样品表面
‧探针有时会击中，或轻打样品表面
‧损害样品的可能性比接触式少（不用侧面力, 摩擦或拖曳）
‧样品表面起伏较大的大型扫描比非接触式更有效

出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科