标题：扫瞄式电子显微镜原理的历史和原理
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作者:yiyi发布
时间:2011-12-14 0:50:08
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正文:
扫瞄式电子显微镜原理的历史和原理
1965 年英国 Cambddge 公司首先推出商品化的扫瞄式
电子显微镜 (scanning electron microscope,SEM) 问世，其后
30 多年来，SEM 在影像解析度的提昇、操作的容易性、体
积的缩小、电脑化、以及价格的下降 ... 等等方面，均有长
足的进步。
SEM 主要是用来观察物体的表面形态，它的试片製备
容易，影像解析度极高，放大倍率可轻易达到一万倍以上
( 而传统的光学显微镜的最高放 大倍率只有 1500 倍左右 ) ，
并真有景深长的特点，可以清晰的观察起伏程度较大的物
体，如破断面。如果加装 X 光侦测器，则可作微区的化学组
成 分析。此外，尚可侦测阴极发光、电压对比、电子束引
起电流 (EBIC) 、磁 性对比 ...等特性。因此 SEM 已是功能
强大、使用非常普遍的材料分析设 备。
二、扫瞄式电子显微镜原理
2.1 SEM 工作原理
SEM 主要构造示意图如图 6.1 所示。电子枪产生电子
束，而由约 0.2~40 KV 的电压加速。再经过通常包含三个电
磁透镜所组成的电子光学系统，使电子束聚集成一微小的电
子束而照射至试片表面。扫瞄线圈是用来偏折电子束，使其
在试片表面作三度空间的扫瞄，并且此扫瞄动作，与阴极射
线 管 (CRT) 上的扫瞄动作同步。电子束与试片相互作用，
激发出二次电子与反 射电子，这些电子被侦测器侦测到后，
经过讯号处理放大后送到 CRT ，CRT 上的亮度与对比则根
据所侦测到电子讯号的强度而调变。
由于试片表 面任意点所产生讯号的强度，是一一对应到
CRT 萤光幕上对应点的亮度，因此，试片表面的形貌、特徵 ...
等，可藉由此种亮点同步成像的方式，而 一一表现出来。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科