标题：白光干涉显微镜的检测应用
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2011-11-30 23:54:37
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正文:
白光干涉显微镜的检测应用
结合光学显微镜与白光干涉显微镜的功能的扫描式白光涉显微镜，结合显微物镜与干涉显微镜，不需要複杂光路调整程序，兼顾体积小，
奈米解析度、易学用等优点，可提供垂直扫描高度达400μma之微三维量测，适合各种材料与微元件表面特徵尺寸检测。应用领碱包含 :
● 晶圆(Wafer)
● 光碟/硬碟 (DVD Disk/Hard Disk)
● 微机电元件(MEMS Components)
● 高密度线路印刷电路板(HDI PCB)
● IC封装 (IC Package)
● 以及其它材料分析与元件微表面研究。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科