标题：测量表面轮廓微观几何形状分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2020-2-3 7:33:36
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正文:
测定微观几何形状特性的方法和仪器
为测定微观几何形状的标准特性，巳创制不少仪器和方法．所采
用的方法几乎都是按照轮廓来评定表面几何形状的。这种测量表面构
形的方法最费时或是获得的精度不高，·它主要是在用比较法评定表
面时采用。上面曾经指出，轮廓包含有整个表面的数据，并能测定某
些构形参数，而同时绘制的一些轮廓图可以评定表面的立体图。
用感触法测量表面轮廓的缺点是，当测针医在被测表面上时会产
生变形，这是因为在接触区内产生较大；压力的缘故。此外，测针的
端头具有2—1叫m半径的圆弧，所以当它沿轮廓峰滑动时，便产生轮廓
失真．
在光学测量方法中，广泛采用的是光切法；投影法和干涉法。光
切法就是通过狭缝而形成的光带P245，角照射在被测表面上，因为表
面具有不平度，所以投影可呈现出轮廓的形状)。该轮廓可以用带读数
装置的显微镜检测．整个测量系统称为双管显微镜，双管显微镜可以
检测粗糙度参数R。．切光法可以观察较大不平度的形状和尺寸，但其
分辨能力低
采用投影法时，用一只锋利的刀片以60二倾角压紧在被测表面上
，光源从刀片的一边照射时使其影象投在表面上，该影象即显示出轮
麻的不平度。轮啭用带有读数装置的显微镜进行检测
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科