标题：应用集成电路制造技术精细质量检测显微镜
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作者:yiyi发布
时间:2019-2-13 3:29:49
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正文:
应用集成电路制造技术精细质量检测显微镜
目前大量的非油墨打印技术正在研究中，比如自对准打印和表面能图形
。有预计表明在不足五年时间内的大批量制造中图像尺寸会降低至10 tj_m
。应用集成电路制造技术生产出更精细的打印头，进而可推动很多领域的
技术进步。深反应离子刻蚀(Deep
Reactivc Ion Etching，DRIE)技术也允许几乎垂直的侧壁。MEMS制备方
法的优点包括亚微米的精确性、材料的耐用性以及大批量和低成本生产能
力。MEMS技术用于生产喷墨打印头中的喷嘴、集合管和沟槽机构是很理想
的。惠普公司是使用MEMS技术制造打印头的先驱，Sliverbrook公司仅提供
MEMS打印头，Fujifilm Dimatix利用MEMS技术的优点提供M-Class的打印头
。这些打印头的硅片喷嘴板比其他压电式打印头更耐磨，也能提供油墨液
滴超精准的方向性。喷墨打印的发展并不仅限于喷墨打印技术，紫外光固
化和喷墨打印的结合也取得很大的成功，这种成功也延伸到其他相关的技
术中，如电子束固化(c-beam curing)和低成本发光二极管(I,ight Emitti
ng Diode，LED) UV。例如，紫外光固化在食品或食品密切相关的领域中的
应用受到限制，因为配方中需要加入光引发剂，而这些光引发剂是有毒的
。电子束固化油墨中不需要用到光引发剂，可作为一种代替产品，它有着
紫外光同化喷墨打印的优点（黏附性、耐磨性、可靠性、高速），没有缺
点。然而，电子束固化设备的价格却是目前的一个局限性因素。就LED，UV
而言，其设备是低功率、低成本且不产生大量的热。它们能用于“冻结”
冲撞到基底上的打印液滴而不是使其完全固化，这就实现了对基底湿度和
打印质量的控制，当需要使用多种流体类型时，可以显著地提高打印
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科