标题：刻蚀时间烘温度、粘附力测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-10-1 23:18:58
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正文:
一般来说后烘会引起抗蚀剂一定量的收缩，在抗蚀荆和掩膜层的界面
尤为严重。这种收缩使抗蚀剂内部产生应力，引起抗蚀荆破碎、裂纹、脆
裂等现象，使其抗蚀性能下降，钻蚀现象严重。因此建议后烘温度一般应
低于120℃，这样可避免后烘产生的不利影响。实验证明在90℃条件下后烘
，抗蚀剂仍然很稳定，抗蚀挫也很好。经过太量的试验已经确认正性抗蚀
剂的典型收缩温度在110℃左右，这一温度正好略低于抗蚀剂发生热流动的
温度。当后烘温度超过125-130℃，抗蚀剂的脆裂、热流动和化学反应等问
题搅和在一起，给刻蚀后的去胶带来了困难。5．8抗蚀性能的测量
本节主要讨论影响抗蚀剂与衬底之间粘附力的几个关键因素。后烘是
改善抗蚀剂与衬底粘附力的方法之一。后烘要考虑的第一个问题是后烘温
度与抗蚀性能之间的关系，用一张简单的图表可以表示后烘温度和常用的
刻蚀剂的抗蚀性能之间的关系，对予铬和其他掩膜材料来说这种关系可作
为一种示范。样品的后烘温度在90～180∞之间，然后将样品置于铬或者氧
化铁的腐蚀液中，或者放在带有某种刻蚀气体的等离子休中，刻蚀时间与
常用的瓣蚀时间相同0然后测量抗蚀剂的厚度损失，采用这种方法，羲俯可
以决定采用怎样的后烘条件以获得最佳的抗蚀性能。 ’ ：
后烘要考虑的第二个间题是后烘温度和掩膜层与抗蚀剂间的。结合力
之闻的关系。选择样品的后烘温度为90--'160℃，在湿法或者干法刻蚀中
的刻蚀时间相同，然后测量线宽，获得后烘温度与粘附力函数的关系，从
而得到最佳条件。应该看到，钻蚀情况与后烘温度、粘附力有着直接的关
系。开始时，粘附力随温度增‘加而增加
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科