标题：被测物体表面的高度分布表面的三维形貌
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-7-13 23:18:42
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正文:
被测物体表面的高度分布表面的三维形貌
通过线阵CCD相机采集玻璃表面云纹图像，利用差影法和数字相移技术
对云纹图像进行处理，可实现全部缺陷的检测，玻璃缺陷检测精度为0．5 m
m。
光栅投影法的研究概述
光栅投影的三维形貌测量方法
当前，光栅投影法主要用于三维形貌的测量，其测量原理为：将光栅分
别投影到参考平面和被测物体表面，投影到参考平面上的参考光栅不会发生
变形；当光栅被投射到待测物体表面时，由于投影光栅受被测物体表面高度
的调制，光栅会产生不同程度的变形，待测物体的高度不同，光栅的变形程
度不同。因此，二维平面上的变形云纹携带有待测物体表面的j维形貌信息
，采用CCD相机采集变形云纹，并对采集得到的云纹图像进行处理，可以求
得物体表面的相位分布，并可根据几何关系计算出被测物体表面的高度分布
，重构出物体表面的三维形貌。
基于光栅投影的i维测量系统一般由投影光栅、CCD摄像机、图像采集卡
、计算机等构成。典型的测量系统根据成像设备和投影设备的空问位置的不
同，可分为交叉光轴和平行光轴两种。平行光轴结构可以减小参考平面上的
投影光栅的变形，但测量范嗣受限于投影光场和成像光场的重叠部分，并且
难于调整，测量范围有限，较少使用；交叉光轴结构可以获得较大的有效测
量场，但由于光栅偏置，参考面上的云纹分布不均匀，相位呈非线性分布
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科