标题:非球面光学元件测量轮廓检测显微镜

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2018-5-26 1:43:34 将本页加入收藏

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正文:

非球面光学元件测量轮廓检测显微镜

  非球面光学元件的特有容差
   表面形状
  公差指定了实际加工面形与设计或者理论面形的最大允许偏差。

  旋转对称偏差受所允许的旋转对称不规则性限制,而非旋转对
称偏差同样受限于设计允许的整体不规则性。

    从测量轮廓可以看出,大梯度的局部偏差受限于局部法
线与理论法线的最大允许角度偏差,这一偏差称作倾角误差
(或表面正切误差)。
    在光学元件图纸中标注这些面形公差的方法。标准中
也定义了公差指标的单位和有关测量光学元件的信息,
特别是干涉测量法。











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