标题：离焦不适用于非球面-半径、离焦和面形
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-5-21 22:01:29
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正文:
离焦不适用于非球面-半径、离焦和面形
半径、不规则、离焦和面形
这几个术语常用于光学制造领域。但它们的使用方式因人而异
。这些定义可作为适当的提议，以及讨论的起点．
半径：表面或波前最佳拟合球面的半径。
不规则：最佳拟合球面(或最佳拟合圆柱形表面)与表面或波面
之间的残余误差范围．可以用峰谷值(PV)或均方根值(RMS)表示。
指定的球面和最佳拟合球面之间的偏差。柱面离焦是沿其轴向
测量的。离焦不适用于非球面。对于非圆形的区域，其孔径大小
必须严格定义。
离焦
或 (也称为像散)：相互正交两部分的最大离焦差。
：与特定的理想几何形状相比，它就是整个物体的物理形状。
如果没有给半径定义公差范围，那么面形包括离焦和不规则；如果
对半径单独定义公差．则面形与不规则是等价的，但是最佳拟合球
面也必须在半径允许的公差范围内。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科