标题：微机械加工-复杂机械器件的结构检测显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-1-25 23:58:12
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正文:
微机械加工-复杂机械器件的结构检测显微镜
氧化物埋层工艺
该工艺还正处于研发中，它是在注氧隔离技术(SIMOX)的基础
上开发出来的，SIMOX技术开始是用来制作IC②电路用的硅一绝缘
体(SOI)晶片。氧化物埋层技术是利用二氧化硅掩埋层的腐蚀特性
来制作微结构。用相应的离子注入技术将氧注入硅衬底以后，采用
高温退火使氧离子与硅发生反应形成二氧化硅的氧化物埋层。剩余
的单晶硅薄层仍能进行外延层的生长，外延层厚度范围从几微米到
几十微米。
在微机械加工中，将二氧化硅埋层用作腐蚀停止。例如，像氢
氧化钾这样的腐蚀剂的腐蚀速率在腐蚀剂到达二氧化硅层时明显减
慢。不管怎样，这一工艺能够通过适当注入氧的方法制作带有腐蚀
图形的二氧化硅掩埋层。
硅熔融键合任何复杂机械器件的结构都对单个部件的加工和部件的
装配有所要求
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科