标题：微结构具有由微结构形状-硅微机械部件
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作者:yiyi发布
时间:2018-1-21 1:45:01
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正文:
微结构具有由微结构形状-硅微机械部件
微机械加工技术的迅速发展也导致了微执行器的诞生。这就
使得制作硅微机械部件成为可能。
微机电系统技术的发展将使人类认识和改造世界的能力取得重
大突破，给国民经济和国防建设带来深远的影响。在不断完善本领
域的设计与加工制造技术的同时，也为新的研究领域的开拓奠定了
基础。
微机电系统的定义与内涵
微机电系统的概念是在20世纪末被提出的，它一般泛指特征尺
寸在亚微米至亚毫米范围的一种功能装置。但是目前关于微机电系
统的定义还没有统一的确切形式，美国、日本、欧洲由于各自发展
微机电系统的途径和技术条件不一样，所以各自的定义也各不相同
，美国一般称其为微机电系统，日本一般称其为微机械，欧洲则称
其为微系统。
美国北卡罗莱纳微电子中心(MCNC)对微机电系统的定义是：微
机电系统是由电子和机械元件组成的集成化微器件或微系统，它是
采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造的，并且尺寸在微米到
毫米之间。它将计算、传感与执行融合为一体，从而改变了我们感
知和控制自然界的方式。
日本微机械中心的定义是：微机械由只有几个毫米大小的功能
元件组成的，它能够执行复杂、细微的任务。
欧洲NEXUS的定义是：微结构产品具有由微结构形状提供的技
术功能。微系统由多个微元件组成，并作为一个完整的系统进行优
化，以提供一种或多种特定功能，在许多场合包括微电
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科