标题：于固体表面和镀层中元素组成和分析的光谱技术
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2017-7-8 2:03:26
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正文:
于固体表面和薄膜中元素组成和分析的光谱技术
固体光谱技术
大部分光谱学技术如x射线荧光、光学和红外光谱的样品制备一
般只涉及切割和安装等极少的过程。波长色散光谱(WDS)和能量色
散光谱(EDS)等光谱技术是在扫描电子显微镜和透射电子显微镜的
光谱分析中实现的，因此其样品制备与扫描电子显微镜和透射电子
显微镜完全相同
在最近的数十年中，用于固体表面和薄膜中元素组成和化学状
态分析的光谱技术迅猛发展。这种发展部分源于大量的有关表面或
界面的问题需要利用光谱技术来解决，如集成电路的性能、复合材
料的可靠性、腐蚀、纳米结构的成分等。光谱设备既有作为配件使
用的独立单元，也有建立在特殊装配场所的复杂技术体系。然而其
基本原理和对样品制备技术的基本要求是一样的。
分析固体表面组成和化学性质最常用的光谱学技术是光电子能
谱法(XPS)、俄歇电子能谱法(简称AES)，二级离子质谱分析法(SIM
S)和离子散射能谱法(ISS)。其中前两个是用于外表面(10～20A)定
量分析最常用的方法。所有这些技术都是用一个粒子探针(电子、
光子或离子)碰撞表面，然后分析发射的粒子能量：在XPS中，探针
是x射线光子，检测的粒子是由其发射的光电子。在AES中，探针是
电子，检测到的特征粒子是能量更低的电子。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科